用于先进图案化的软着陆纳米层压层

摘要

本发明涉及用于先进图案化的软着陆纳米层压层，具体提供了用于在芯部层上沉积纳米层压保护层以允许在芯部层上沉积供先进多图案化方案使用的高质量保形膜的方法。在某些实施例中，所述方法涉及使用低的高频射频(HFRF)等离子体功率通过基于等离子体的原子层沉积来沉积薄氧化硅或氧化钛薄膜，随后使用高HFRF等离子体功率沉积保形的氧化钛薄膜或间隔物。