公开/公告号CN111477561A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 弘塑科技股份有限公司;
申请/专利号CN201910062094.8
申请日2019-01-23
分类号
代理机构上海翼胜专利商标事务所(普通合伙);
代理人翟羽
地址 中国台湾新竹市香山区中华路六段89号
入库时间 2023-12-17 11:20:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20190123
实质审查的生效
2020-07-31
公开
公开
机译: 用于基板保持器的基板安装/拆卸单元,包括该基板的湿式基板处理装置,基板保持器输送方法,基板处理装置和基板输送方法
机译: 用于基板保持器的基板安装/拆卸单元,包括该基板的湿式基板处理装置,基板保持器输送方法,基板处理装置和基板输送方法
机译: 基板保持体的基板拆卸部,具有该基板的湿式基板处理装置,基板处理装置以及基板输送方法