一种法布里珀罗谐振腔光学微泡传感器及其制备方法

摘要

本发明属于光学检测技术领域，具体为法布里珀罗谐振腔光学微泡传感器及其制备方法。本发明的传感器为一个空心的石英微泡，微泡上、下半泡外表面分别镀有不同反射率的金属薄膜或多层高低折射率周期性交叉排列的介质薄膜，形成法布里珀罗结构的谐振腔；微泡的两端具有开口，用于与检测系统连接。在进行检测时，根据检测对象的生物化学分子特性，在微泡内表面进行硅烷化处理和官能化处理，使生物化学分子与其结合，以实现对生物分子特异性检测功能。本发明还包括基于光学微泡传感器的检测系统。本发明微泡传感器具有超高的品质因数，可以实现对超低微量浓度、超小物理量的化学生物试剂的检测；此微泡传感器制作方便，操作简单，整体设计成本较低。