一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法

摘要

本发明公开了一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，包括以下步骤：用清洗液对掩膜版表面进行清洗；将掩膜版置于流动的清水中冲洗，冲洗结束后沥干；将掩膜版浸泡在35‑45℃的无水乙醇中30‑60min，取出后，用鼓风机风干表面乙醇；利用喷涂的方式使纳米涂料均匀附着到掩膜版表面形成厚度为20‑40nm的纳米涂层，将表面喷涂有纳米涂料的掩膜版在室温下放置1‑3h后，再转移至加热装置中在65‑70℃下保温烘干即可，由于纳米涂层的存在，使得掩膜版使用寿命大大提高，可以反复蒸镀100次以上，而且在使用过程中，杜绝了由于有机材料或金属材料掉成片掉落的情况，蒸镀提高合格率，也不需要耗费大量时间来清洗掩膜版上残留的蒸镀材料，提高了生产效率。