用于制造MEMS结构的方法和相应的MEMS结构

摘要

本发明实现一种用于制造MEMS结构的方法和相应的MEMS结构以及MEMS构件。方法具有以下步骤：提供衬底(S)，在衬底上施加微机械的功能层组件(FS)，其具有一个或多个功能层，功能层组件(FS)具有空腔(K)，空腔通过贯通开口(D；D')朝着功能层(FS)的外侧地露出，贯通开口具有比功能层组件(FS)更小的横向延展；借助HDP方法如此在功能层组件(FS)和贯通开口(D；D')的外侧上沉积封闭层(O，O')，使得封闭层(O，O')的第一区域(O)在功能层组件(FS)的外侧上生长，封闭层(O，O')的第二区域(O')从空腔(K)内在贯通开口(D；D')以下柱状地生长；由封闭层(O，O')的第二区域(O')在贯通开口(D；D')中构造封闭区域(VBO)。