感光性树脂组合物、干膜抗蚀剂及树脂组合物与干膜抗蚀剂的硬化物

摘要

本发明的目的在于提供一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物保有良好的图像分辨率，且减少硬化物的湿热溶出污染，湿热接着性良好。本发明提供的感光性树脂组合物，含有(A)光阳离子聚合引发剂及(B)环氧化合物，前述(A)光阳离子聚合引发剂含有由下述式(1)表示的阴离子与阳离子所形成的盐，式(1)中，R1至R4分别独立地表示碳数1至18的烷基或碳数6至14的芳基。但是，R1至R4中的至少一者表示碳数6至14的芳基。R1至R4，可以分别独立地为具有全氟烷基作为取代基的苯基、或具有氟原子作为取代基的苯基。R1至R4可以分别独立地为五氟苯基或双(三氟甲基)苯基。