一种硅片边抛补液系统、补液方法及硅片边抛方法

摘要

本发明提供一种硅片边抛补液系统，包括补充液盛装装置、边抛液PH检测装置、边抛液供给箱、供液动力装置和控制装置，其中，边抛液PH检测装置设于边抛液供给箱上，对边抛液供给箱中的边抛液的PH值进行检测；供液动力装置分别与边抛液供给箱和补充液盛装装置连接，为边抛液供给箱供给补充液；边抛液PH检测装置与供液动力装置均与控制装置电连接，控制装置根据边抛液PH检测装置检测的边抛液PH值信号控制供液动力装置动作。本发明的有益效果是结构简单，使用方便，方便安装和维修，具有供液动力装置、边抛液PH检测装置和流量检测装置，能够根据检测到的边抛液的PH值是否在设定的上限值和下限值内，控制供液动力装置动作，对边抛液的PH值进行调节。