一种用于玻璃基微流控芯片的激光键合设备及方法

摘要

本发明公开了一种用于玻璃基微流控芯片的激光键合方法，包括超声波清洗、表面活化、清洗、预贴合和激光键合处理，提高了玻璃基微流控芯片的键合效率，避免了传统键合方法制作复杂、成品率低下、成本高的缺点，省去了中间的介质层使得产品的应用场景更加广阔。