法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20200330
实质审查的生效
2020-07-14
公开
公开
机译: 基板转移装置,具有该基板转移装置的基板处理装置和基板转移装置的教学方法
机译: 用于控制可漂浮基板转移装置的高度的装置和方法,以及用于控制可漂浮基板转移装置的高度的可漂浮基板转移装置和具有该装置的涂层装置
机译: 基板转移装置和包括该基板转移装置的基板处理装置,其用于制造平板显示器的基板在处理过程中被转移