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转移基板及制备方法、转移装置、转移方法

摘要

本发明提供一种转移基板及制备方法、转移装置、转移方法,属于显示技术领域,其可解决现有的转移基板与待转移的芯片之间粘附力较低、工艺稳定性差的问题。本发明的转移基板,包括:基底、以及位于基底上的多个拾取单元;拾取单元与待转移的芯片一一对应;每个拾取单元包括多个纳米微结构。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20200330

    实质审查的生效

  • 2020-07-14

    公开

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