公开/公告号CN111247618A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-05
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201880062475.X
申请日2018-09-21
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人崔卿虎
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-12-17 10:24:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/244 申请日:20180921
实质审查的生效
2020-06-05
公开
公开
机译: 通过反向散射粒子检测掩埋特征
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