一种顶针自动调节装置及顶针自动调节方法

摘要

本发明涉及到半导体生产设备技术领域,提供了一种顶针自动调节装置及顶针自动调节方法，包括位移机构、驱动机构、顶针机构，所述驱动机构、顶针机构均连接于所述位移机构，所述驱动机构驱动所述位移机构产生位移，所述顶针机构随所述位移机构进行位移。依靠电机与位移机构连接实现X、Y、Z向调整移动，通过电机的联动，实现X、Y、Z三轴动作达到自动化生产的目的，提高自动化程度，提升生产效率，解决精度低，易造成不良品质的问题。