一种CuI-Au-ZnO自供电紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种CuI‑Au‑ZnO自供电紫外探测器及其制备方法。该方法包括：用原子束沉积设备在二氧化硅衬底上制备一层氧化锌薄膜；在氧化锌薄膜表面等离子溅射金纳米颗粒；用直流磁控溅射方法在金纳米颗粒上溅射一层金属铜，在碘蒸气下碘化形成碘化亚铜。本发明通过在p型碘化亚铜和n型氧化锌中间加上一层金纳米颗粒形成了ZnO/Au/CuI异质结结构紫外光探测器，为制作高性能自供电紫外探测器提供了新的方法。本发明是基于ZnO/Au/CuI异质结的薄膜紫外光探测器，采用等离子金插入异质结中间使得异质结对紫外线利用效率增加，所制成的探测器具有较高的灵敏度。