公开/公告号CN111385953A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-07
原文格式PDF
申请/专利权人 核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司;
申请/专利号CN201811616746.X
申请日2018-12-28
分类号
代理机构核工业专利中心;
代理人高安娜
地址 610041 四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号
入库时间 2023-12-17 10:12:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/03 申请日:20181228
实质审查的生效
2020-07-07
公开
公开
机译: 基于射频感应耦合放电的正负离子源
机译: 基于射频感应耦合放电的正负离子源
机译: 用于感应耦合等离子体离子源的射频系统,电磁滤波器和高压隔离