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用于使设有构件的固体层变薄的方法

摘要

本发明根据权利要求1涉及一种用于提供至少一个固体层(4)的方法,其中,使所述固体层(4)从固体(1)分离。根据本发明的所述方法在此优选包括以下步骤:借助激光射束在所述固体(1)内部产生多个改性体(9),以便形成脱离平面(8),其中,通过所述改性体(9)在所述固体(1)中产生压缩应力;通过沿着由所述改性体(9)形成的脱离平面(8)使剩余的所述固体(1)与所述固体层(4)分开来分离所述固体层(4),其中,产生压缩应力的改性体(9)的至少组成部分留在所述固体层(4)上,其中,产生如此多的改性体(9),使得所述固体层(4)由于所述改性体(9)而从所述固体(1)脱离,或者其中,将外力引入到所述固体(1)中,以便在所述固体(1)中产生另外的应力,其中,所述外力如此强,使得所述应力导致沿着由所述改性体形成的脱离平面(8)的裂纹延伸;在通过使所述固体层(4)从所述固体(1)分离而露出的表面上产生金属层(20),以便至少部分地并且优选大部分地并且特别优选完全地补偿所述固体层(4)的由于剩余的改性体组成部分的压缩应力所引起的变形或者以便至少部分地并且优选大部分地或者完全地补偿所述压缩应力。

著录项

  • 公开/公告号CN111357084A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-06-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西尔特克特拉有限责任公司;

    申请/专利号CN201880071953.3

  • 发明设计人 R·里斯克;M·斯沃博达;J·里希特;

    申请日2018-09-14

  • 分类号

  • 代理机构永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人郭毅

  • 地址 德国德累斯顿

  • 入库时间 2023-12-17 10:12:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/302 申请日:20180914

    实质审查的生效

  • 2020-06-30

    公开

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