公开/公告号CN111357084A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-30
原文格式PDF
申请/专利权人 西尔特克特拉有限责任公司;
申请/专利号CN201880071953.3
申请日2018-09-14
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人郭毅
地址 德国德累斯顿
入库时间 2023-12-17 10:12:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/302 申请日:20180914
实质审查的生效
2020-06-30
公开
公开
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