零温漂谐振器的结构及制成方法

摘要

本发明公开了一种零温漂谐振器的结构及制成方法，基底和制作在基底表面的叉指换能器，所述叉指换能器为三层结构，从下往上依次为打底层、中间层和表层，其中打底层为钛(TI)层，中间层为铝(AL)层，表层为金(AU)层，该所述零温漂谐振器的制成方法，在不改变谐振器设计的前提下通过改变前道的工艺，以钛(TI)铝(Al)金(AU)作为叉指换能器的材料，以石英片(SiO2)作为衬底的普通谐振器，通过ICP刻蚀工艺达到零温漂的工艺方法。