公开/公告号CN111356785A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-30
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201880074102.4
申请日2018-11-19
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 10:08:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/40 申请日:20181119
实质审查的生效
2020-06-30
公开
公开
机译: 金属表面上的金属氧化物的ALD方法
机译: 在基体上形成金属氧化物膜的用于CVD或ALD的金属氧化物膜的制造方法
机译: 用ALD法形成金属氧化物层以减少金属氧化物层中的杂质并改善电特性的方法