一种硅片背封层的边缘去除装置及边缘去除方法

摘要

本发明提供一种硅片背封层的边缘去除装置及边缘去除方法，所述边缘去除装置包括：夹具，包括第一夹板和第二夹板，第一夹板和第二夹板之间形成夹持空间；放置于夹持空间内的底膜和至少一个功能膜，底膜贴设于第二夹板上，功能膜包括第一膜层和第二膜层，第一膜层的面积大于第二膜层的面积以在第一膜层上形成台阶面，台阶面与硅片上形成有背封层的一面的边缘相对，台阶面上开设有若干出液口；刻蚀液供给管路，刻蚀液供给管路与若干出液口连通，用于向硅片上形成有背封层的一面的边缘喷射刻蚀液。根据本发明实施例的边缘去除装置，可适应不同背封层去除量的要求，并且大大减少刻蚀液的用量，有利于降低成本和环保。