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利用二维选晶法制备单晶叶片在001取向优化的检测方法

摘要

本发明属于单晶叶片检测应用技术领域,具体公开了利用二维选晶法制备单晶叶片在001取向优化的检测方法,步骤1、依据二维选晶器的001方向的截面的外观方向建立空间直角坐标系;步骤2、利用一次枝晶在两个侧面的投影和单晶生长方向的夹角α和β,计算出一次枝晶的方向向量;步骤3、利用二次枝晶在水平横截面的投影与水平轴向的夹角A和B,计算出二次枝晶的方向向量;步骤4、使用线切割机切割平行于二维选晶器001方向的切面和水平于001方向的切面;步骤5、确定两个切面同一枝晶和001的角度,得到最终取向。本发明的有益效果在于:解决现有检测方法所存在的问题,提高检测效率和检测数据的精准性,通过检测结果对生产流程进行调整,提高产品品质。

著录项

  • 公开/公告号CN111308041A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-06-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏金瑞机械制造有限公司;

    申请/专利号CN202010315942.4

  • 发明设计人 朱鑫涛;沈斌;朱玉棠;

    申请日2020-04-21

  • 分类号

  • 代理机构江苏圣典律师事务所;

  • 代理人贺翔

  • 地址 225714 江苏省泰州市兴化市陈堡镇裕堡路北

  • 入库时间 2023-12-17 10:03:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N33/20 申请日:20200421

    实质审查的生效

  • 2020-06-19

    公开

    公开

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