一种ZnMgO紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种ZnMgO紫外探测器，所述ZnMgO紫外探测器包括衬底；复合在所述衬底上的ZnMgO薄膜层；复合在所述ZnMgO薄膜层上的叉指电极层；复合在所述叉指电极层的叉指电极表面上的聚合物层。本发明提供的具体特定结构的ZnMgO紫外探测器，通过各层之间的配合与顺序，充分发挥了ZnMgO薄膜层优势，使得本发明制备的ZnMgO紫外探测器具有较低的暗电流和良好的器件稳定性。而且本发明提供的制备方法，步骤简单，条件温和，重复性好，过程可控，有利于规模化推广和应用。