可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯

摘要

本发明为一种可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯，有灯管（1），在灯管（1）内设有筒状空心阴极（2）、环形阳极（3）及惰性气体（4），环形阳极（3）的内径大于筒状空心阴极（2），灯管（1）内部有至少20mT的恒定磁场（5），所述恒定磁场（5）N极与S极的垂直连线与筒状空心阴极（2）的轴线平行。通过恒定磁场控制电子以近似螺旋形轨迹飞向阳极，显著增大了电子在两极间的飞行距离，增加了与气体分子发生碰撞的几率，可产生更多的正离子轰击阴极表面，提高了空心阴极灯溅射率，增强空心阴极灯发射谱线强度，从而提高了检测灵敏度。