制造多晶硅的闪光灯退火方法

摘要

一种制造多晶硅(p‑Si)的方法，包括：沉积无定形硅以产生无定形硅超级台面；对无定形硅进行脱氢；对超级台面进行图案化以产生图案化基材；在图案化基材上的无定形硅上沉积氧化物覆盖层；将覆盖的图案化基材加热到a‑Si的结晶温度；以及使用氙灯对图案化基材进行闪光灯退火以产生具有至少一个超级台面且所述超级台面具有超尺寸晶粒的p‑Si。还公开了p‑Si制品和包含所述制品的装置，以及制造p‑Si制品的设备。