实现硅基场漂移探测器电势均匀分布的互联结构

摘要

本发明涉及硅基场漂移探测器的结构，特别涉及实现硅基场漂移探测器电势均匀分布的互联结构，所述互联结构由N个P型注入形成的同心电极圆环，相邻两个同心电极圆环之间通过连接电阻连接形成，连接电阻为P型的沟道电阻，互联的N个P型注入形成的同心电极圆环通过芯片级金属顶层布线，将最内层的同心电极圆环和最外层的同心电极圆环引出，并将这两个同心电极圆环连线的引出端口以压焊PAD的方式，通过键合引线与环形硅基场漂移探测器外部的管壳连接；本发明中的互联结构，可实现场漂移探测器结构简单、驱动简单、引出端和电压配置的个数少、各电极环电压自动分布、有效探测面积不受引出端口数限制、快速高效探测的目标。