一种RBDT动态特性测试装置及测试方法

摘要

本发明属于功率半导体器件特性测试领域，具体涉及一种RBDT动态特性测试装置及测试方法，装置包括：Marx发生器，包括待测RBDT的脉冲放电电路，充电器，第一限流电阻，第一二极管；充电器控制对Marx发生器和脉冲放电电路的充电；Marx发生器串联待测RBDT构成环路，在充电之后向待测RBDT输出不同的触发电压脉冲；第一限流电阻和第一二极管设置于Marx发生器和待测RBDT构成的环路上，防止待测RBDT的脉冲电路对Marx发生器的工作产生影响，同时保护Marx发生器上面的开关器件。本发明通过改变对Marx发生器控制方式输出不同动态特性的触发电压脉冲，准确地得到反应RBDT动态特性的波形参数。