基于石墨烯/黑磷/二硫化钼/石墨烯异质结的快速光电探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种基于石墨烯/黑磷/二硫化钼/石墨烯异质结的快速光电探测器，包括基底、第一电极、第二电极、第一石墨烯层、黑磷薄膜层、二硫化钼层和第二石墨烯层，第一电极和第二电极间隔设置在基底的一侧表面，第一电极和第二电极之间形成沟道结构，第一石墨烯层、黑磷薄膜层、二硫化钼层和第二石墨烯层依次层叠设置在沟道结构内，第一电极和第二电极分别与第一石墨烯层和第二石墨烯层接触连接。本发明提供的光电探测器中设置有石墨烯/黑磷/二硫化钼/石墨烯异质结，可以实现宽波段响应，并且光电探测器的响应速度得到了显著提高，响应速度可以达到微秒级，有利于光电探测器的广泛应用。