一种锗表面草莓状宽波段增透微纳结构及其制备方法

摘要

本发明涉及一种锗表面草莓状宽波段增透微纳结构及其制备方法，属于红外光学材料加工及应用技术领域。本发明是通过直接在锗基底上加工出由微纳尺寸的三维草莓状结构单元以密排六方方式呈周期性排列而成的阵列，可以实现对锗基底整个透过波段的增透，解决了多层膜环境适应性及膜层质量问题；另外，通过调整三维草莓状结构单元的尺寸及其排列周期可以满足不同光谱宽度的增透，满足快速发展红外技术对宽光谱增透的需求。