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一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统

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摘要

本发明提供了一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，所述电子级四甲基氢氧化铵的检测系统包括进样单元、检测单元与控制单元；所述检测单元与进样单元连接，在控制单元的控制下检测样品的色度、TMAH与CO

1. 一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统 [P] . 中国专利： CN111175530A . 2020-05-19
2. 一种环保再利用的电子级四甲基氢氧化铵生产制备工艺 [P] . 中国专利： CN113861035A . 2021-12-31
3. Aqueous developer solution for positive type photoresists with tetramethyl ammonium hydroxide and trimethyl hydroxyethyl ammonium hydroxide [P] . 美国专利： US4610953A . 1986-09-09

机译：正型光致抗蚀剂用四甲基氢氧化铵和三甲基羟乙基氢氧化铵的显影液
4. METHOD OF PRODUCING ELECTRONIC GRADE TETRAETHOXYSILANE FROM TETRACHLOROSILANE-TRIMETHYLCHLOROSILANE AZEOTROPE [P] . 韩国专利： KR20050099246A . 2005-10-13

机译：由四氯硅烷-三甲基氯硅烷硅烷共沸物生产电子级四乙氧基硅烷的方法
5. METHOD FOR SEPARATING TRIMETHYLCHLOROSILANE AND PRODUCING ELECTRONIC GRADE TETRAETHOXYSILANE AND ETHYLSILICATE FOR PAINT FROM TETRACHLOROSILANE-TRIMETHYLCHLOROSILANE AZEOTROPE [P] . 韩国专利： KR20060070719A . 2006-06-26

机译：于从三氯硅烷-三甲基氯硅烷共沸物中分离三甲基氯硅烷的制备电子级四乙基乙氧基硅烷和乙基硅酸盐的方法