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公开/公告号CN111276548A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-12
原文格式PDF
申请/专利权人 北京大学;
申请/专利号CN201811478784.3
发明设计人 王茂俊;尹瑞苑;
申请日2018-12-05
分类号H01L29/872(20060101);H01L29/06(20060101);H01L21/329(20060101);
代理机构11360 北京万象新悦知识产权代理有限公司;
代理人苏爱华
地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号
入库时间 2023-12-17 09:33:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/872 申请日:20181205
实质审查的生效
2020-06-12
公开
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