三明治结构锑硒-锑-锑硒纳米复合多层相变薄膜及其制备和应用

摘要

本发明公开一种三明治结构锑硒‑锑‑锑硒纳米复合多层相变薄膜及其制备和应用，薄膜的总厚度为40‑60 nm，结构通式为SbSe(a)/Sb(b)/SbSe(a)，其中a和b分别表示SbSe薄膜和Sb薄膜的厚度，且17≤a≤24.5 nm，1≤b≤16 nm。本发明通过磁控溅射的方法在SbSe相变材料中穿插一层Sb相变材料，构成三明治结构相变存储薄膜，利用材料各自的优势，使得该三明治结构SbSe/Sb/SbSe相变存储薄膜具有热稳定性高、相变速度快、非晶态电阻和高低电阻合适的特征。