非侵入性定量多层评估方法和所得多层组件

摘要

本发明题为“非侵入性定量多层评估方法和所得多层组件”。本公开提供了一种分析多层组件(100)的层厚度的方法。该方法包括：在多层组件(100)的表面(154)上的选定位置处，将具有预定几何形状的开口(120)部分地形成到多层组件(100)中。多层组件(100)包括多个材料层，所述多个材料层包括基底(104)和粘结涂层(110)。开口(120)暴露包括基底(104)的多个材料层中的每个。可增加暴露的多个材料层的对比度。使用数字显微镜(150)在开口(120)中形成暴露层的图像(152)，并且根据图像(152)并基于开口(120)的预定几何形状来计算粘结涂层(110)的厚度、耗尽层(118)的厚度和/或氧化物层(116)的厚度。修复开口(120)允许多层组件(100)在测试之后用于预期目的，例如在气体涡轮中重新安装和重复使用。