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公开/公告号CN111334855A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-26
原文格式PDF
申请/专利权人 广州南砂晶圆半导体技术有限公司;
申请/专利号CN202010198749.7
发明设计人 杨祥龙;徐现刚;王垚浩;于国建;陈秀芳;
申请日2020-03-20
分类号C30B23/00(20060101);C30B29/36(20060101);
代理机构
代理人
地址 511400 广东省广州市南沙区珠江街南江二路7号自编2栋2层201室
入库时间 2023-12-17 09:29:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-26
公开
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