一种粉末冶金AlSnCu合金靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及一种粉末冶金AlSnCu合金靶材及其制备方法，属于金属材料的制备加工领域。首先按照成份比例配备合金原料，采用喷粉制备出AlSnCu合金粉末；将筛选后的粉末置入纯铝包套；进行真空除气；随后进行分段热等静压，即在125～225℃之间进行不低于100MPa的热等静压，不少于2小时；然后在460±5℃进行不低于100MPa的热等静压，不少于4小时；热等静压完成后的出炉温度不高于200℃；将致密化后的材料进行机械加工或者小变形量的挤压或者轧制，制得方便利用的材料形状。得到靶材的晶粒尺寸均匀、形状近等轴状、成分均匀、无明显织构，少或无缺陷和杂质，同时过程控制难度小、材料利用率高。