一种基于AlOx双电层薄膜晶体管的神经仿生器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于AlOx双电层薄膜晶体管的神经仿生器件，所述器件结构由下至上包括衬底、底栅电极、AlOx双电层介质层、氧化物半导体有源层以及顶部的源漏电极；所述AlOx双电层介质层通过AlOx前驱体溶液旋涂或者印刷，然后热处理制备，所述热处理温度为150～400℃；所述氧化物半导体有源层通过氧化物半导体有源层前驱体溶液旋涂或者印刷，然后热处理制备，所述热处理温度为200～300℃。本发明通过AlOx前驱体溶液旋涂或者印刷，然后热处理制备能形成AlOx双电层介质层，对设备要求较低、制备成本低、操作简单，并且可大面积制备；且AlOx双电层介质层和氧化物半导体有源层的制备温度低，与柔性电路系统的兼容性好。