公开/公告号CN111029239A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-17
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力集成电路制造有限公司;
申请/专利号CN201911372357.1
申请日2019-12-27
分类号
代理机构上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人戴广志
地址 201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
入库时间 2023-12-17 09:08:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20191227
实质审查的生效
2020-04-17
公开
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