一种石墨烯晶圆的转移方法、石墨烯晶圆及鼓泡体系

摘要

本发明提供了一种石墨烯晶圆的转移方法、石墨烯晶圆及鼓泡体系，该方法包括：提供一带有金属基底的石墨烯晶圆；以及，采用电化学鼓泡工艺将所述石墨烯晶圆自所述金属基底上剥离；其中，所述电化学鼓泡工艺中的鼓泡体系包括水相和有机相，所述水相包括电解质水溶液，所述有机相位于所述水相的下方。本发明一实施方式的石墨烯晶圆的转移方法，大大减少了转移过程中石墨烯薄膜的破损，提高了所得石墨烯薄膜的质量。