公开/公告号CN111095530A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-01
原文格式PDF
申请/专利权人 国立大学法人东京工业大学;
申请/专利号CN201880059587.X
申请日2018-09-14
分类号
代理机构北京天达共和知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张嵩
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 08:42:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/8239 申请日:20180914
实质审查的生效
2020-05-01
公开
公开
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