一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置

摘要

本发明创造提供了一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，包括电控柜、滑台以及片篮底座，所述滑台以及片篮底座设置在电控柜内，所述电控柜还设有总控模块；所述电控柜内部设有托板，所述片篮底座设置在托板上，所述片篮底座包括底板，所述底板为对称结构，底板上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关，多个所述定位块沿底板的对称轴对称设有两组。本发明创造所述的一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置准确读取打标号，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少人为劳动强度，降低人工成本。