基板搬运装置及基板载置部的旋转轴的探索方法

摘要

在基板载置部的多个旋转位置上，用物体检测传感器检测设置于基板载置部的目标，求出从机器人基准轴至目标的与轴心方向正交的方向的距离即指标长度或与其相关的信息，基于求得的指标长度或与其相关的信息，求出检测到位于连结机器人基准轴与旋转轴的直线上的目标时的，检测线的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置及基板载置部的以旋转轴为中心的旋转位置的至少一方的旋转位置，基于求得的旋转位置，对从机器人基准轴观察到的旋转轴所在的方向进行特定。