静电式工件保持方法及静电式工件保持系统

摘要

本发明提供一种静电式工件保持方法及静电式工件保持系统，可在切断对静电吸着部的电极施加电压的状态下保持工件。静电式工件保持方法包含：初始化步骤(S1)、除电步骤(S2)、工件设置步骤(S3)、工件吸着步骤(S4)及工件剥离步骤(S5)。初始化步骤(S1)为对静电吸着部(1)的电极(11)施加正电压并对电极(12)施加负电压的步骤，除电步骤(S2)为将静电吸着部(1)的表面(1a)的电荷除电的步骤。其次，工件设置步骤(S3)为使工件(W)抵接于静电吸着部(1)的表面(1a)的步骤，工件吸着步骤(S4)为切断对静电吸着部(1)的电极(11)施加的正电压并且切断对电极(12)施加的负电压的步骤。另外，工件剥离步骤(S5)为对静电吸着部(1)的电极(11)施加正电压并且对电极(12)施加负电压的步骤。