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用于纳米孔的简单的流体寻址的方法

摘要

本文所公开的方面涉及在基板上大批量制造生物感测装置阵列的方法,每个生物感测装置具有竖直或水平隔膜,该竖直或水平隔膜具有从中穿过的一个或多个固态纳米孔,并且涉及用于每个纳米孔的简单的流体寻址的方法。一方面,公开了一种用于将电压从正极穿过自支撑隔膜施加到负极而形成纳米孔的方法。其他方面,公开了用于在晶片上形成多个纳米孔的方法。另一方面,公开了一种用于形成纳米孔装置的单侧处理方法,以提供在纳米孔的任一侧上具有浴槽的装置,所述装置可从所述基板的单侧寻址。另一方面,公开了一种用于流体地寻址多个纳米孔装置的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN111108384A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-05-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN201880061009.X

  • 发明设计人 芒格什·邦阿;约瑟夫·R·约翰逊;

    申请日2018-07-25

  • 分类号

  • 代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐金国

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2023-12-17 08:30:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N33/487 申请日:20180725

    实质审查的生效

  • 2020-05-05

    公开

    公开

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