公开/公告号CN111108384A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-05
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201880061009.X
发明设计人 芒格什·邦阿;约瑟夫·R·约翰逊;
申请日2018-07-25
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 08:30:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N33/487 申请日:20180725
实质审查的生效
2020-05-05
公开
公开
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