前照式图像传感器的形成方法及前照式图像传感器

摘要

本发明公开了一种前照式图像传感器的形成方法，包括：S100：采用刻蚀工艺形成图像传感器像素区域的顶层金属层；S200：形成金属互联介质层，刻蚀图像传感器感光单元上的金属互联介质层，S300：在图像传感器感光单元上形成嵌入式的微透镜层或彩色滤光膜层，从而降低前照式图像传感器不同像素单元之间的光学串扰，提高图像传感器的性能。