由愈创木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂及其合成方法

摘要

本发明公开了一种由愈创木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂及其合成方法，属于化学合成及光刻材料领域。该光酸产生剂的结构通式为：式中，R1为和中的一种；R2为共价键、烷基、环烷基、含酯基的烷基和含氟烷基中的一种。该光酸产生剂的合成方法为：将愈创木醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体；将所述中间体与(环己‑1,5‑二烯基氧基)‑三甲基‑硅烷、四亚甲基亚砜、三氟乙酸酐进行反应，得到所述磺酸锍盐类光酸产生剂。本发明所采用的原料愈创木醇具有较大分子量，其形成的光酸产生剂也具有较大分子量，可降低光酸产生剂的扩散，有利于改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙度，提高分辨率。