太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构

摘要

本发明公开了一种太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适于并且匹配各种型号的原子力显微镜以检测一待测样品，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构包括一90°平面镜、一AFM探针、一第一平面镜，所述AFM探针用于检测置于一AFM样品台的所述待测样品，所述第一平面镜置于所述90°平面镜的靠近AFM样品台的一侧。本发明专利申请公开的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适用并且匹配多种成熟的商业化AFM，抛物面镜需针对AFM进行定制，在保证将入射太赫兹脉冲束聚焦到AFM探针之上及收集经探针和样品散射的太赫兹脉冲束的前提下不与AFM结构产生冲突。