法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-21
著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/66 变更前: 变更后: 申请日:20191014
著录事项变更
2020-06-26
著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/66 变更前: 变更后: 申请日:20191014
著录事项变更
2020-05-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20191014
实质审查的生效
2020-04-21
公开
公开
机译: 具有焦点控制装置的半导体包装的检查装置及使用该检查方法的检查方法
机译: 具有焦点控制装置的半导体包装的检查装置及使用该检查方法的检查方法
机译: 焦点位置检测装置,检查装置,焦点位置检测方法及检查方法