一种MoON涂层及其制备方法和应用

摘要

本发明属于薄膜电极和表面防护涂层的技术领域，公开了一种MoON涂层及其制备方法和应用。所述MoON涂层采用脉冲磁控溅射沉积法制备，该层各元素的原子百分比含量：Mo：26～41at.％，O：24～64at.％，N：9～36at.％。本发明采用脉冲磁控溅射沉积法，通过结合了氮化钼和氧化钼的优点，制备的电化学性能优异的MoON涂层，具有膜基结合力好，电容值高，循环寿命长等特点，显著提高了过渡金属化合物薄膜电极的性能，而且可沉积在柔性基体上作为电极，使其在柔性储能器件上有广泛应用前景。