用于研磨基板的设备、用于操作研磨系统的方法及用于研磨制程的研磨系统

摘要

一种用于研磨基板的设备、用于操作研磨系统的方法及用于研磨制程的研磨系统。本揭示案的实施例描述一种用以在研磨制程期间侦测研磨垫轮廓并基于该侦测到的轮廓来调整研磨制程的设备及方法。设备可包括经配置以研磨基板的研磨垫、经配置以保持基板抵靠研磨垫的基板载体，以及经配置以侦测研磨垫的轮廓的侦测模块。侦测模块可包括经配置以量测研磨垫上的一或多个区域的厚度的探针以及经配置以支撑探针的横梁，其中探针可进一步经配置以沿着横梁移动。