一种化学性能增强光刻胶及其制备方法

摘要

本发明提供一种化学性能增强光刻胶及其制备方法，其组分包括：具有衍生自羟基苯乙烯的聚合单元和衍生自甲基丙烯酸2‑乙基‑2‑金刚烷基酯的聚合单元的树脂，全氟烷基乙烯基醚，乙烯基正丁醚，二苯基‑4‑苯硫基代苯基硫鎓盐，小分子硅酮，二异丙基胺，溶剂。