公开/公告号CN110828324A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-21
原文格式PDF
申请/专利权人 格物感知(深圳)科技有限公司;
申请/专利号CN201911052882.5
申请日2019-10-31
分类号H01L21/60(20060101);H01L23/488(20060101);
代理机构32367 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙);
代理人闵东
地址 518000 广东省深圳市福田区福保街道市花路长富金茂大厦37层3710F
入库时间 2023-12-17 07:51:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/60 申请日:20191031
实质审查的生效
2020-02-21
公开
公开
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