一种基于ATE系统的集成电路测试与监控方法

摘要

本发明提供了一种基于ATE系统的集成电路测试与监控技术，其中，ATE系统包括ATE设备、测试探卡、工作站、晶圆和探针台，该集成电路测试与监控技术改进了集成电路CP测试，默认TRIM档位输出值的收集处理，通过与晶圆上芯片的所有模拟电路默认TRIM档位下输出值数据的历史有效范围值进行比较获取其分布区间，并依此进行分Bin作业，获取测试良率。同时，在监控良率时，该集成电路测试与监控技术还结合所有模拟电路默认TRIM档位下的输出值数据Bin的分布情况，能够更清晰直观地获得测试工艺或测试系统波动方向和程度，并能够直接检测到测试中的极端异常情况，为测试质量控制提供有力保障，避免异常芯片的漏出。