公开/公告号CN111010885A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-14
原文格式PDF
申请/专利权人 迈尔博尔格(德国)有限公司;
申请/专利号CN201880048763.X
申请日2018-06-19
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人李骏
地址 德国霍恩施泰因-恩斯塔尔
入库时间 2023-12-17 07:38:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/673 申请日:20180619
实质审查的生效
2020-04-14
公开
公开
机译: 用于转移基材的设备,用于处理基材的设备以及使用相同方法冷却基材的方法
机译: 用于转移基材的设备,用于处理基材的设备以及使用相同方法冷却基材的方法
机译: 一种用于处理基材以提供抗腐蚀保护的方法以及用于在这种情况下使用液体对工艺介质进行脱气的设备