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用于运输基材的设备、具有匹配于这种设备的基材支架的接纳板的处理装置以及用于在使用这种用于运输基材的设备的情况下处理基材的方法以及处理设备

摘要

本发明涉及一种用于将基材运输到处理装置中或从该处理装置运输出来的设备、一种处理装置、一种用于处理基材的方法以及一种具有用于使这种用于运输基材的设备移动的运动装置的处理设备。在此,所述设备具有基材支架以用于运输基材,所述基材支架包括水平延伸的保持面和一个或多个抓持臂。所述保持面平坦地并且均匀地构造在朝向基材的第一表面上,其形状基本上对应于基材的形状并且其面积基本上等于基材的面积,其中,基材仅通过其重力以其背侧保持在保持面上。所述处理装置具有接纳板,基材在处理期间被保持在该接纳板上,其中,接纳板在第一表面中具有凹部,该凹部适用于在处理基材期间接纳这种基材支架。

著录项

  • 公开/公告号CN111010885A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-04-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 迈尔博尔格(德国)有限公司;

    申请/专利号CN201880048763.X

  • 申请日2018-06-19

  • 分类号

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人李骏

  • 地址 德国霍恩施泰因-恩斯塔尔

  • 入库时间 2023-12-17 07:38:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/673 申请日:20180619

    实质审查的生效

  • 2020-04-14

    公开

    公开

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