基板承载装置及基板装载系统

摘要

本发明提供一种基板承载装置，适于承载待电镀的基板。基板承载装置包括本体、盖体及至少定位销。本体适于承载基板，其中本体具有至少一定位孔。盖体可拆卸地配置于本体上以将基板固定于本体。定位销滑设于盖体，其中定位销适于相对于盖体滑动至第一位置而插入定位孔，且适于相对于盖体滑动至第二位置而分离于定位孔。此外，包含此基板承载装置的基板装载系统也被提及。